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주제에 대한 설명 리니어 스테이지:
* 정밀한 X-Y-T 구동의 컴팩트한 초소형 스테이지입니다.
* Soltless 리니어모터에 리니어가이드를 장착한 직선타입과 크로스롤러베어링을 장착한 회전타입 리니어스테이지로 구성됩니다.
* 조합(X-Y / X-T / X-Y-T)에 따라 2축 또는 3축의 구성이 용이합니다.
* 고정밀 광학 리니어스케일을 장착하였습니다.
* 반도체 및 평판디스플레이 제조공정의 정밀한 측정 및 검사시스템에 매우 유용합니다.
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- 동영상 업로드 날짜: 2019. 7. 26.
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